Электроника

 
20 | 08 | 2018

ЭЛУ

                                           4Е120                                                                                     6E400                                                                                    15Е1500   

  

 

4Е120

6E400

15Е1500

Технические характеристики

 

 

 

Питание

380В, 50Гц

380В, 50Гц

380В, 50Гц

Потребляемая мощность

7,5 кВт

14 кВт

24 кВт

Габариты установки

1,0х0,9х1,75 м

1,01х1,2х1,95 м

2,0х3,5х2,0 м

Масса

420кг

1200кг

4500кг

ЭЛП

 

 

 

Тип катода

Плазменный

Плазменный

 

Мощность луча

4кВт

6кВт

15кВт

Ускоряющее напряжение

20-40кВ

20-40кВ

 

Ток пучка

0,5-100мА

0,5-150мА

 

Угол откл. пучка

15 град

 

 

Диаметр пучка

 

0,3мм

 

Режим работы

импульсн/непрерывн

импульсн/непрерывн

 

Вакуумная система

 

 

 

Объем вакуумной камеры (ВК)

0,3х0,3х0,34 м

0,8х0,8х0,8 м

 

Рабочий вакуум

5х10-2 Па

5х10-2 Па

 

Предельный вакуум

 

 

 

Время откачки

3 мин

10 мин

15 мин

Время напуска

30 сек

 

 

Манипулятор

 

 

 

Перемещение по осям  X/Y/Z

120/120/100 мм

400/260/200 мм

1500/800/400 мм

Скорость перемещения по осям X/Y

0-30 мм/сек

0-30 мм/сек

0-50 мм/сек

Скорость перемещения по осям Z

0-5 мм/сек

 

 

Точность позиционирования

10мкм

10 мкм

10 мкм

Наклон

0-90 град

0-90 град

 

Скорость наклона

0-5 град/сек

 

 

Скорость вращения

0,1-30 об/мин

 

 

Угол наклона планшайбы поворотного стола

 

 

 

Скорость вращения

 

0,1-30 об/мин

 

Диаметр планшайбы

80мм

200мм

500мм

Максимальный размер детали

170х170х130 мм